发明名称 一种大型立式不锈钢长管离子镀膜设备
摘要 一种大型立式不锈钢长管离子镀膜设备,包括炉体(1),所述炉体(1)由炉座架支撑,一端设有炉盖(9),另一端设有炉底板,所述炉体(1)炉壁上设置有抽气口(2)和电弧源(3),炉体(1)内壁上设置有布气管(4),所述离子镀膜设备还包括用于安装不锈钢长管的工件架和驱动装置,所述工件架设置在所述炉体内侧,所述驱动装置位于所述炉体(1)外侧,与所述工件架相连,用于驱动所述工件架上不锈钢长管转动;所述炉体(1)竖向设置,所述抽气口(2)设于所述炉体(1)一侧炉壁的中部,所述电弧源(3)分几列轴向排布在所述抽气口(2)对侧的炉壁上,所述布气管(4)设置在相邻两列电弧源(3)之间。本实用新型可适于不锈钢长管如6M长不锈钢管镀膜的离子镀膜设备。
申请公布号 CN204939599U 申请公布日期 2016.01.06
申请号 CN201520710312.1 申请日期 2015.09.14
申请人 东莞市汇成真空科技有限公司 发明人 李志荣;李志方;罗志明;潘锐华;冯小庭
分类号 C23C14/32(2006.01)I 主分类号 C23C14/32(2006.01)I
代理机构 广州知友专利商标代理有限公司 44104 代理人 何秋林;周克佑
主权项 一种大型立式不锈钢长管离子镀膜设备,包括炉体(1),所述炉体(1)由炉座架支撑,一端设有炉盖(9),另一端设有炉底板,所述炉体(1)炉壁上设置有抽气口(2)和电弧源(3),炉体(1)内壁上设置有布气管(4),所述离子镀膜设备还包括用于安装不锈钢长管的工件架和驱动装置,所述工件架设置在所述炉体内侧,所述驱动装置位于所述炉体(1)外侧,与所述工件架相连,用于驱动所述工件架上不锈钢长管转动;其特征在于,所述炉体(1)竖向设置,所述抽气口(2)设于所述炉体(1)一侧炉壁的中部,所述电弧源(3)分几列轴向排布在所述抽气口(2)对侧的炉壁上,所述布气管(4)设置在相邻两列电弧源(3)之间。
地址 523820 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区