发明名称 硅控整流器
摘要 本发明公开一种硅控整流器,包括半导体衬底;形成于该半导体衬底上方的N阱和P阱;形成于该N阱中的第一P+掺杂区和第一N+掺杂区;形成于该P阱中的第二P+掺杂区和第二N+掺杂区;形成于该N阱与该P阱相接合位置的第三掺杂区;以及形成于该第三掺杂区上方的硅化金属阻止区,本发明通过采用硅化金属阻止区减小了电流路径,同时增大了PNPN结形成的寄生三极管的放大器系数,从而提升了硅控整流器的打开速度,提高了硅控整流器的ESD保护能力。
申请公布号 CN102208455B 申请公布日期 2016.01.06
申请号 CN201110076563.5 申请日期 2011.03.29
申请人 上海华虹宏力半导体制造有限公司 发明人 胡剑
分类号 H01L29/87(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I 主分类号 H01L29/87(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 郑玮
主权项 一种硅控整流器,至少包含:半导体衬底;形成于该半导体衬底上方的N阱和P阱;形成于该N阱中的第一P+掺杂区和第一N+掺杂区;形成于该P阱中的第二P+掺杂区和第二N+掺杂区;形成于该N阱与该P阱相接合位置的第三掺杂区;形成于该第一P+掺杂区与该第一N+掺杂区之间、该第二P+掺杂区与该第二N+掺杂区之间的隔离结构;以及形成于该第三掺杂区上方的硅化金属阻止区,所述硅化金属阻止区至少覆盖所述第三掺杂区。
地址 201203 上海市张江高科技园区祖冲之路1399号