发明名称 | 上游体积质量流量检验系统和方法 | ||
摘要 | 本公开涉及用于测量和检验通过诸如质量流量控制器的质量流量传输/测量装置的质量流量的质量流量检验系统和方法。质量流量检验系统包括预设体积、温度传感器和压力传感器。由质量流量检验系统确定的测量的经检验的流量可调整成补偿由质量流量测量装置内的死体积导致的误差。 | ||
申请公布号 | CN102483344B | 申请公布日期 | 2016.01.06 |
申请号 | CN201080033129.2 | 申请日期 | 2010.07.15 |
申请人 | MKS 仪器公司 | 发明人 | 丁军华;K·扎尔卡 |
分类号 | G01F25/00(2006.01)I | 主分类号 | G01F25/00(2006.01)I |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 王永建 |
主权项 | 一种用于检测质量流量控制器的性能的上游质量流量检验系统,所述系统包括:上游体积,能够存储检测流体,其中,上游体积是质量流量控制器的上游,其中,质量流量控制器处于检测状态下并且具有给定的死体积;温度传感器,配置为用于感测上游体积内的温度;压力传感器,配置为用于感测上游体积内的流体压力;以及处理器,被配置成分别从温度传感器和压力传感器接收温度信号和压力信号,并且基于接收的温度信号和压力信号计算流过质量流量控制器的检测流体的流速;其中,所述处理器被配置成在计算流过质量流量控制器的测量流体的流速中,对于在质量流量控制器是压力敏感的情况下,补偿质量流量控制器中由所述给定的死体积导致的流速中的误差,并在质量流量控制器是压力不敏感的情况下将死体积设置成零。 | ||
地址 | 美国马萨诸塞州 |