双弹簧预紧柔性解耦直线电机定位平台

摘要

本发明公开了一种双弹簧预紧柔性解耦直线电机定位平台，包括基座和工作平台，所述工作平台设有X向驱动机构和Y向驱动机构，所述X向驱动机构和所述Y向驱动机构的直线电机定子均固定在所述基座上，Y向定位平台上设有X向工作平台导轨，X向工作平台导轨上设有与其滑动连接的所述工作平台，所述工作平台通过双弹簧预紧柔性解耦机构与所述X向定位平台连接。本发明采用直线电机直接驱动运动部件，通过设计双弹簧预紧柔性解耦机构实现定位平台的运动解耦，以高精度的光栅传感器作为末端反馈元件，整个系统具有结构紧凑、体积小、质量轻、控制方便等特点，可以很好地保证系统运动的高速和高精度。

主权项

一种双弹簧预紧柔性解耦直线电机定位平台，包括基座和工作平台，所述工作平台设有X向驱动机构和Y向驱动机构，其特征在于，所述X向驱动机构包括固定在所述基座上的X向直线导轨和X向直线电机定子，与所述X向直线电机定子适配的X向直线电机动子，与所述X向直线电机动子固接的X向定位平台，所述X向定位平台与所述X向直线导轨滑动连接，所述Y向驱动机构包括固定在所述基座上的Y向直线导轨和Y向直线电机定子，与所述Y向直线电机定子适配的Y向直线电机动子，与所述Y向直线电机动子固接的Y向定位平台，所述Y向定位平台与所述Y向直线导轨滑动连接，所述Y向定位平台上设有X向工作平台导轨，所述X向工作平台导轨上设有与其滑动连接的所述工作平台，所述工作平台通过双弹簧预紧柔性解耦机构与所述X向定位平台连接，所述双弹簧预紧柔性解耦机构包括与所述工作平台刚性连接的悬臂式解耦运动导向方框板，所述方框板设有左右两个X向板条和前后两个Y向板条，两个所述X向板条的中部均形成有弹性铰链，前Y向板条与所述工作平台刚性连接，后Y向板条与预紧机构滑动接触，所述预紧机构为沿所述X向定位平台的X向轴线对称分布的结构，所述预紧机构包括固定在所述X向定位平台上的一个铰接立柱和两个连接立柱，所述铰接立柱位于所述方框板内，两个所述连接立柱位于所述方框板外，在所述铰接立柱的两侧各设有一个预紧拉杆和一个预紧弹簧，所述预紧拉杆的一端与所述铰接立柱转动连接，另一端与位于同侧的所述预紧弹簧的一端连接，所述预紧弹簧的另一端与靠近的所述连接立柱连接，所述预紧拉杆中间安装有安装柱，所述安装柱上安装有后部滚针轴承，所述后部滚针轴承与所述后Y向板条的内侧面滚动摩擦连接；在所述方框板内还设有与所述前Y向板条的内侧面滚动摩擦连接的前部滚针轴承，所述前部滚针轴承安装在支承柱上，所述支承柱固定在所述X向定位平台上。