发明名称 一种用于探测光强度的多层膜及其制备方法
摘要 本发明公开了一种用于探测光强度的多层膜,其特征在于:在ITO玻璃基底层上设有有机薄膜层Ⅰ,所述有机薄膜层Ⅰ上设有有机薄膜层Ⅱ,在所述有机薄膜层Ⅱ上设有金属薄膜电极。本发明还公开了该多层膜的制备方法。本发明以ITO透明电极代替传统的金属薄膜电极,有效地提高了入射光的透射率,以有机薄膜层为核心层,采用真空蒸镀的方法来制备多层膜,制备工艺简洁,得到的多层膜在光强度探测上有广泛的应用。
申请公布号 CN103078059B 申请公布日期 2016.01.06
申请号 CN201310034539.4 申请日期 2013.01.29
申请人 大连交通大学 发明人 刘向;薛钰芝;林纪宇
分类号 H01L51/44(2006.01)I;H01L51/46(2006.01)I;H01L51/48(2006.01)I 主分类号 H01L51/44(2006.01)I
代理机构 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人 赵淑梅;李洪福
主权项 一种用于探测光强度的多层膜,其特征在于:在ITO玻璃基底层(1)上设有有机薄膜层Ⅰ(2),所述有机薄膜层Ⅰ(2)是由并五苯和酞菁铜的混合材料制成的,并五苯和酞菁铜的摩尔比为1:9‑1:4,薄膜的厚度为35nm‑65nm;所述有机薄膜层Ⅰ(2)上设有有机薄膜层Ⅱ(3),所述有机薄膜层Ⅱ(3)为N型有机薄膜,所述N型有机薄膜为富勒烯,厚度为25nm‑40nm;在所述有机薄膜层Ⅱ(3)上设有金属薄膜电极(4),所述金属薄膜电极(4)的材料为金、铂或银。
地址 116028 辽宁省大连市沙河口区黄河路794号