用于修正压阻式振荡器的频率的温度相关性的电路和方法

摘要

一种包括硅型MEMS振荡器的MEMS振荡器及其方法，特别是压阻式谐振器，可以用来提供固定的、稳定的输出频率。硅的杨氏模量具有天然的温度相关性，因此，当环境温度变化和/或压阻式谐振器被供电时，谐振器温度变化，并且谐振器的谐振频率漂移。为了考虑压阻式谐振器的温度漂移，压阻式谐振器本身用作温度传感器。压阻式谐振器的相对电阻变化仅依赖于相对温度变化和谐振器的材料特性。因此，可以直接在压阻式谐振器上检测精确的温度。温度漂移信息提供至频率调整器，频率调整器修正该电路的输出频率。

主权项

一种振荡器电路，包括：至少一个电路元件，被配置和布置用于谐振以及指示所述至少一个电路元件的工作温度；所述工作温度为流经所述至少一个电路元件的依赖于电阻的信号的函数，并可指示由所述至少一个电路元件所表现的电阻；和输出电路，被配置和布置为基于所述依赖于电阻的信号而提供所述工作温度，用于调整从所述至少一个电路元件获得的频率输出信号。