一种类平面整体式全柔性并联微定位机构

摘要

本实用新型涉及精密定位和精密加工技术领域，特别是一种类平面整体式全柔性并联微操作机构。本实用新型三条相同的全柔性支链成对称形式分布在定平台上且每条支链均与相邻支链成120°，与定平台成4°的微小角度，构成具有类平面特性的全柔性铰链。微动平台安装在三条全柔性支链的输出端上，精密操作器固定在微动平台的中心位置。其不仅有并联机构的多维(多自由度)运动特性，还具有免装配，工作稳定，无机械摩擦，无运动间隙等优点。从而避免了传统机构因装配误差和摩擦间隙误差对末端平台定位精度的影响，实现纳米级的精密定位。

主权项

一种类平面整体式全柔性并联微定位机构，其特征在于：三条相同的全柔性支链(3)成对称形式分布在定平台(1)上且每条支链均与相邻支链成120°，与定平台(1)成4°的微小角度，构成具有类平面特性的全柔性铰链；微动平台(2)安装在三条全柔性支链(3)的输出端(4)上，精密操作器固定在微动平台(2)的中心位置；全柔性支链(3)是通过先进切割技术整体切割而成，使其形成具有柔性铰链和柔性连杆的类平面整体式全柔性铰链；全柔性支链(3)由三个柔性转动副(5)(6)(7)和一个柔性移动副(8)组成且左右对称分布，柔性转动副(5)为全柔性支链(3)的始端，其一端与定平台(1)相连，另一端与柔性移动副(8)相连；柔性转动副(7)为全柔性支链(3)的末端，其一端连接输出端(4)，另一端连接柔性转动副(6)。