| 摘要 |
【課題】磁性ワイヤを基板上の溝にひねり応力を残存させることなく微小間隔で多数本整列配置する装置およびその磁性ワイヤの整列方法を提供する。【解決手段】ピーンと張った磁性ワイヤを基準線にし、微小間隔で基板に形成された溝を基準軸として両者の位置関係をマイクロスコープによりずれを測定して、それを基板固定台送り装置により調整することで?１μｍの精度で磁性ワイヤを基板上の溝の中に整列する。その磁性ワイヤを磁力だけで固定することによりひねり応力を除去した後、ＭＩ素子の感磁体ワイヤとして樹脂で固着する。【選択図】図１ |
