发明名称 光干渉計
摘要 【課題】過剰損失の割合を低減することができる光干渉計を提供する。【解決手段】光干渉計1Aは、分岐合波部10,第1光学系20,第2光学系30および駆動部40を備える。分岐合波部10は、透明部材の内部と外部との間の境界に分岐面11,入射面12,第1出射面13,合波面14および第2出射面15を有し、分岐面11において、入射光L0の一部を反射させて第1分岐光L11として出射させるとともに、残部を第2分岐光L21として内部へ透過させ、合波面14において、第1分岐光L12および第2分岐光L22それぞれ一部を合波して第1合波光L3として外部へ出射させるとともに、各々の残部を合波して第2合波光L4として内部へ伝搬させ、第2出射面15において、第2合波光L4の一部L41を外部へ出射させる。【選択図】図5
申请公布号 JP5839759(B1) 申请公布日期 2016.01.06
申请号 JP20150150546 申请日期 2015.07.30
申请人 浜松ホトニクス株式会社 发明人 藁科 禎久;鈴木 智史;笠森 浩平;奥村 亮介;港谷 恭輔
分类号 G01J3/45 主分类号 G01J3/45
代理机构 代理人
主权项
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