摘要 |
【課題】過剰損失の割合を低減することができる光干渉計を提供する。【解決手段】光干渉計1Aは、分岐合波部10,第1光学系20,第2光学系30および駆動部40を備える。分岐合波部10は、透明部材の内部と外部との間の境界に分岐面11,入射面12,第1出射面13,合波面14および第2出射面15を有し、分岐面11において、入射光L0の一部を反射させて第1分岐光L11として出射させるとともに、残部を第2分岐光L21として内部へ透過させ、合波面14において、第1分岐光L12および第2分岐光L22それぞれ一部を合波して第1合波光L3として外部へ出射させるとともに、各々の残部を合波して第2合波光L4として内部へ伝搬させ、第2出射面15において、第2合波光L4の一部L41を外部へ出射させる。【選択図】図5 |