具有校正单元的科里奥利陀螺仪及减小90°相位差偏离的方法

摘要

一种科里奥利陀螺仪(1)，包括可予以激发来平行于第一轴振荡的质量系统，从而可以检测该质量系统由于科里奥利力沿着垂直于第一轴设置的第二轴的偏移，并包括至少一个第一校正单元(30)以及至少一个第二校正单元(40)，第一和第二校正单元各自包括多个固定校正电极(31、32、41、42)和运动校正电极(24、25、26、27)，其中固定校正电极(31、32、41、42)在第一轴的方向延伸且通过相应的锚固结构(33，43)稳固地连接于基底，而运动校正电极(24、25、26、27)是形成质量系统的一部分。一种用于减小此种科里奥利陀螺仪(1)的90°相位差偏离的方法，包括施加至少暂时恒定的校正电压到校正单元(30、40)。

主权项

一种科里奥利陀螺仪(1)，包括：可予以激发来平行于第一轴从事振荡的质量系统，从而可以检测该质量系统由于科里奥利力沿着垂直于第一轴设置的第二轴的偏移，以及各自包括多个固定校正电极(31、32、41、42)和运动校正电极(24、25、26、27)的至少一个第一校正单元(30)和至少一个第二校正单元(40)，其中固定校正电极(31、32、41、42)在第一轴的方向延伸且通过相应的锚固结构(33、43)稳固地连接于基底，且运动校正电极(24、25、26、27)构成质量系统的一部分，其中每个固定校正电极(31、32、41、42)配有运动校正电极(24、25、26、27)，其中相应固定校正电极(31、32、41、42)和其配有的运动校正电极(24、25、26、27)之间的距离，小于相应固定校正电极(31、32、41、42)和另一相邻的运动校正电极(24、25、26、27)之间的距离；第一校正单元(30)或第二校正单元(40)的第一固定校正电极(31、41)从相应锚固结构(33、43)沿着第一轴在第一方向延伸，而第一校正单元(30)或第二校正单元(40)的第二固定校正电极(32、42)从相应锚固结构(33、43)沿着第一轴在第二方向延伸，其中第二方向与第一方向相反；第一运动校正电极(24、26)从质量系统沿着第一轴在第二方向延伸，而第二运动校正电极(25、27)从质量系统沿着第一轴在第一方向延伸；第一校正单元(30)中的每个第一固定校正电极(31)从其配有的第一运动校正电极(24)看时沿着第二轴设置在第三方向，而每个第二固定校正电极(32)从其配有的第二运动校正电极(25)看时沿着第二轴设置在第四方向，其中第四方向与第三方向相反，以及第二校正单元(40)中的每个第一固定校正电极(41)从其配有的第一运动校正电极(26)看时沿着第二轴设置在第四方向，而每个第二固定校正电极(42)从其配有的第二运动校正电极(27)看时沿着第二轴设置在第三方向；其特征在于，同一校正单元(30，40)的第一和第二固定校正电极各自从共同的锚固结构(33、43)延伸出。