发明名称 |
位置检测装置、位置检测方法、压印装置及物品的制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种位置检测装置、位置检测方法、压印装置及物品的制造方法。该位置检测装置包括:检测单元,其被构造为对由包括在第一方向上排列的图案的第一衍射光栅与包括在所述第一方向上排列的图案的第二衍射光栅之间的交叠引起的莫尔条纹进行检测,以及处理单元,其被构造为基于所述莫尔条纹获得所述第一衍射光栅与所述第二衍射光栅的相对位置,其中,所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅中的至少一个光栅中包括的图案的端部图案在所述第一方向上的宽度,小于所述至少一个衍射光栅的剩余图案在所述第一方向上的宽度。 |
申请公布号 |
CN105222705A |
申请公布日期 |
2016.01.06 |
申请号 |
CN201510369385.3 |
申请日期 |
2015.06.26 |
申请人 |
佳能株式会社 |
发明人 |
佐藤浩司 |
分类号 |
G01B11/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 |
代理人 |
迟军 |
主权项 |
一种位置检测装置,该位置检测装置包括:检测单元,其被构造为对由包括在第一方向上排列的图案的第一衍射光栅与包括在所述第一方向上排列的图案的第二衍射光栅之间的交叠引起的莫尔条纹进行检测;以及处理单元,其被构造为基于所述莫尔条纹获得所述第一衍射光栅与所述第二衍射光栅的相对位置,其中,所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅中的至少一个衍射光栅中包括的图案的端部图案在所述第一方向上的宽度,小于所述至少一个衍射光栅的剩余图案在所述第一方向上的宽度。 |
地址 |
日本东京都大田区下丸子3-30-2 |