光照射装置

摘要

本发明公开了一种在照射面上的规定照射位置上，照射在第1方向上延伸且在与第1方向正交的第2方向上具有规定线宽的线形光的光照射装置，其具备光学单元，该光学单元具有在基板上沿着第1方向延伸并隔着第1间隔排列，且在规定方向上使光轴的朝向一致配置的N个(N为2以上的整数)光源模块与配置于各光源模块的光路，并将来自各光源模块的光导向规定光路的N个光学元件，且对照射面射出与第1方向平行的线形光，其中，各光源模块具有沿着第1方向延伸的发光部，各光学元件在第1方向以规定倍率放大从发光部射出的光，在将第1间隔设成a、将发光部的第1方向的长度设成b、将规定倍率设成α时，满足以下条件式(1)：α×b≧a…(1)。

主权项

一种光照射装置，其在照射面上的规定照射位置，照射在第1方向上延伸且在与所述第1方向正交的第2方向上具有规定线宽的线形光，其特征在于，具备光学元件，该光学元件具有在基板上沿着所述第1方向隔着第1间隔排列，并在规定方向上使光轴的朝向一致配置的N个(N为2以上的整数)的光源模块，及配置于所述各光源模块的光路，并将来自所述各光源模块的光导向规定光路的N个光学元件，且对所述照射面射出平行于所述第1方向的线形光，所述各光源模块具有沿着所述第1方向延伸的发光部，所述各光学元件在所述第1方向以规定倍率放大从所述发光部所射出的光，在将所述第1间隔设成a、将所述发光部的所述第1方向的长度设成b、将所述规定倍率设成α时，满足以下的条件式(1)。α×b≧a…(1)