一种SiC微粉合成炉及其炉气收集方法

摘要

本发明涉及固相合成碳化硅微粉技术领域，特别公开了一种SiC微粉合成炉及其炉气收集方法。该SiC微粉合成炉，包括通过钢壳包裹、内部设置合成腔体的主炉体，主炉体连接自动控制与检测系统，主炉体外壳上布置有上法兰盖和下法兰盖，其特征在于：主炉体内设置有对应布置的石墨电极和安装在底部的热电偶，主炉体的下法兰盖上布置有两个电极孔，两个电极孔上安装有与石墨电极连接的水冷电极，上法兰盖上部设置有连接真空系统的真空管道。本发明结构紧凑，自动化程度高，环保、节能效果明显，产品产率高，吨SiC成本低，能实现安全、稳定的收集CO气体，适于广泛推广应用。

主权项

一种SiC微粉合成炉，包括通过钢壳（1）包裹、内部设置合成腔体的主炉体，主炉体连接自动控制与检测系统，主炉体外壳上布置有上法兰盖（2）和下法兰盖（3），其特征在于：主炉体由外向内依次设置有钢壳（1）、保温层（4）和耐火层（5），主炉体内设置有对应布置的石墨电极（6）和安装在底部的热电偶（7），主炉体的下法兰盖（3）上布置有两个电极孔，两个电极孔上安装有与石墨电极（6）连接的水冷电极（8），上法兰盖（2）上部设置有连接真空系统（9）的真空管道（10）；所述水冷电极（8）与供电母排（11）相连接，供电母排（11）与直流供电系统连接；所述上法兰盖（2）呈椭球形，真空管道（10）上布置有连通主炉体内部的观察窗（12），真空管道（10）上设置有用于人工读取炉内真空的麦氏真空计、与监控系统连接的控制柜、过滤器和真空阀门；所述真空系统（9）由一级滑阀泵和与之匹配的二级罗茨泵构成，滑阀泵的出口上连接有气体过滤器，气体过滤器的出口连接气体收集腔。