利用光波导微环谐振器测试甲烷浓度的测试装置

摘要

本实用新型提供一种利用光波导微环谐振器测试甲烷浓度的测试装置，测试装置中包括微环谐振器，其由两条平行波导和一个环形波导组成，环形波导包括下包层、设置在下包层上的波导芯、以及涂覆在波导芯表面的敏感膜，敏感膜用于与甲烷气体发生共价作用，以使环形波导的有效折射率随着甲烷浓度的增大而增大。通过测量输出的光信号的中心波长，可推算出相应的甲烷气体浓度。由于本实用新型的甲烷浓度测试装置测量的是输出的光信号的中心波长，不需要测量输出的光信号的光强度，入射光的角度以及材料自身所带来的对光强的衰减对本申请的测量并无影响，因此利用光波导微环谐振器测试甲烷浓度的测试装置的测量准确度更高，结果更可靠。

主权项

一种利用光波导微环谐振器测试甲烷浓度的测试装置，其特征在于，包括：衬底和固定设置在所述衬底上的微环谐振器；其中，所述微环谐振器由两条平行波导和一个环形波导组成；所述环形波导设置于所述两条平行波导之间；所述环形波导包括下包层、设置在所述下包层上的波导芯、以及涂覆在所述波导芯表面的敏感膜，所述敏感膜用于与甲烷气体发生共价作用，以使所述环形波导的有效折射率随着甲烷浓度的增大而增大。