成膜装置,申请号JP20120036784-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	成膜装置
摘要
申请公布号	JP5838851(B2)	申请公布日期	2016.01.06
申请号	JP20120036784	申请日期	2012.02.22
申请人	富士通株式会社	发明人	高橋憲彦
分类号	C23C24/04	主分类号	C23C24/04
代理机构		代理人
主权项
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