箝制基板的方法及箝夹准备单元

摘要

本发明涉及一种将基板(22)箝制于基板支撑结构(23)的表面上的方法。首先，将液体施加于该基板支撑结构的表面上。该表面设有多个接触组件。所施加的液体使得接触组件被液体层所完全覆盖。接着，提供所述基板并将所述基板放置于所述液体层上。最后，从所述基板下移除液体，使得所述基板搁置于多个接触组件上且被所述基板与所述基板支撑结构的表面之间的液体的毛细层所施加的毛细箝制力所箝制。

主权项

一种将基板(22；122)箝制于基板支撑结构(23；123)的表面上的方法，所述方法包括：将液体施加于所述基板支撑结构的表面(26)上，所述表面设有多个接触组件(27)，使得所述液体形成具有层厚度的层(94；125)，该层厚度比所述接触组件的高度更大从而所述液体层覆盖所述接触组件；提供所述基板并将所述基板设置于所述液体层上；以及接着朝向所述基板支撑结构的表面降低所述基板并从所述基板底下移除所述液体的多余部分，使得所述基板搁置于所述多个接触组件上并由所述基板与所述基板支撑结构的所述表面之间的所述液体的毛细层(1；21)所施加的毛细箝制力箝制，所述毛细层的外液体表面具有在所述毛细层与所述基板之间的第一接触角以及在所述毛细层与所述基板支撑结构之间的第二接触角。