一种基板清洗装置

摘要

本发明公开了一种基板清洗装置，包括内部具有清洗室的壳体；枢装于壳体、且沿基板移动方向并排分布的多个喷淋管道，每一个喷淋管道具有将喷淋管道内的液体导向基板被清洁面的若干个喷液口，每一个喷淋管道的一端具有与其同轴固定的传动齿轮；通过传动齿轮驱动喷淋管道同频率往复转动的驱动系统，其中一部分喷淋管道的往复转动方向与另一部分喷淋管道的往复转动方向相反。本发明提供的基板清洗装置能够保证对基板移动速度影响较小的前提下，提高对基板表面的清洁效果。

主权项

一种基板清洗装置，其特征在于，包括：内部具有清洗室的壳体；枢装于所述壳体、且沿基板移动方向并排分布的多个喷淋管道，每一个所述喷淋管道具有将所述喷淋管道内的液体导向基板被清洁面的若干个喷液口，每一个所述喷淋管道的一端具有与其同轴固定的传动齿轮；通过所述传动齿轮驱动所述喷淋管道同频率往复转动的驱动系统，其中一部分所述喷淋管道的往复转动方向与另一部分所述喷淋管道的往复转动方向相反，往复转动方向相反的两部分所述喷淋管道的数量相同。