发明名称 | 蚀刻液组合物及使用其制造液晶显示器用阵列基板的方法 | ||
摘要 | 本文所公开的是一种蚀刻液组合物,包含:金属层氧化剂、氟化合物、含氮原子的化合物、膦酸、二醇和水;以及一种使用该组合物制造液晶显示器用阵列基板的方法。 | ||
申请公布号 | CN105220148A | 申请公布日期 | 2016.01.06 |
申请号 | CN201510342127.6 | 申请日期 | 2015.06.18 |
申请人 | 东友精细化工有限公司 | 发明人 | 崔汉永;金炫佑;李俊雨;田玹守;赵成培 |
分类号 | C23F1/18(2006.01)I;C23F1/26(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/18(2006.01)I |
代理机构 | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人 | 徐川;姚开丽 |
主权项 | 一种蚀刻液组合物,包含:金属层氧化剂、氟化合物、含氮原子的化合物、膦酸、二醇和水。 | ||
地址 | 韩国全罗北道 |