发明名称 蚀刻液组合物及使用其制造液晶显示器用阵列基板的方法
摘要 本文所公开的是一种蚀刻液组合物,包含:金属层氧化剂、氟化合物、含氮原子的化合物、膦酸、二醇和水;以及一种使用该组合物制造液晶显示器用阵列基板的方法。
申请公布号 CN105220148A 申请公布日期 2016.01.06
申请号 CN201510342127.6 申请日期 2015.06.18
申请人 东友精细化工有限公司 发明人 崔汉永;金炫佑;李俊雨;田玹守;赵成培
分类号 C23F1/18(2006.01)I;C23F1/26(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I 主分类号 C23F1/18(2006.01)I
代理机构 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人 徐川;姚开丽
主权项 一种蚀刻液组合物,包含:金属层氧化剂、氟化合物、含氮原子的化合物、膦酸、二醇和水。
地址 韩国全罗北道