用于制备半导体电热膜的前驱体溶液、电热膜及制备方法

摘要

一种用于制备半导体电热膜的前驱体溶液、电热膜及其制备方法。首先，提供了以四氯化锡、纳米二氧化锡、三氯化锑、氢氟酸、硼酸、氯化钾、三乙醇胺及相关溶剂混合形成的制备半导体电热膜的前驱体溶液；其次，还提供了由喷涂成膜工艺和浸渍工艺相结合的成膜工艺，并辅以梯度热处理工艺，获得了成膜质量高、适宜大尺寸生产的半导体电热膜。本发明提高电热膜与基体的结合力，获得了抗热冲击能力强的电热膜；提高大面积成膜的均一性和制膜效率；获得方块电阻可调范围大的电热膜以适应不同行业需求。

主权项

一种用于制备半导体电热膜的前驱体溶液，其特征在于，所述溶液按重量份数包括：四氯化锡          25~45纳米二氧化锡      5~25三氯化锑          1~6氢氟酸            0.5~4硼酸              0.1~1.5氯化钾            0.3~0.5三乙醇胺          0.2~0.8溶剂              20~60。