| 发明名称 |
上塗りフォトレジストと共に使用するためのコーティング組成物 |
| 摘要 |
Cyanurate compositions are provided that are particularly useful as a reagent to form a resin component of a coating composition underlying an overcoated photoresist. Preferred isocyanurates compound comprise substitution of multiple cyanurate nitrogen ring atoms by at least two distinct carboxy and/or carboxy ester groups. |
| 申请公布号 |
JP5840352(B2) |
申请公布日期 |
2016.01.06 |
| 申请号 |
JP20100115664 |
申请日期 |
2010.05.19 |
| 申请人 |
ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーＲｏｈｍ ａｎｄ Ｈａａｓ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ ＬＬＣ |
发明人 |
アンソニー・ザンピーニ;ビップル・ジェイン;コン・リュウ;スザンヌ・コーリー;オーウェンディ・オンガイ |
| 分类号 |
C07D251/34;C08K5/3477;C08L101/02;C09D7/12;C09D201/02;G03F7/11 |
主分类号 |
C07D251/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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