发明名称 |
基板加工装置 |
摘要 |
本发明是关于一种基板加工装置,能够进行高效率的基板加工。该基板加工装置,具备有:搬送基板的搬送带(2)、配置在与搬送带(2)的搬送方向交叉的方向的侧方且对基板进行加工的裂断装置(3)、以及相互排列配置且在搬送带(2)与裂断装置(3)之间同步搬送基板的下搬送机构(4)及上搬送机构(5)。 |
申请公布号 |
CN105216126A |
申请公布日期 |
2016.01.06 |
申请号 |
CN201510173280.0 |
申请日期 |
2015.04.13 |
申请人 |
三星钻石工业股份有限公司 |
发明人 |
得永直 |
分类号 |
B28D5/00(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;C03B33/02(2006.01)I |
主分类号 |
B28D5/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 |
代理人 |
寿宁;张华辉 |
主权项 |
一种基板加工装置,其特征在于,具备有:搬送基板的第1搬送机构、配置在与该第1搬送机构的搬送方向交叉的方向的侧方且对该基板进行加工的加工机构、以及相互排列配置且在该第1搬送机构与该加工机构之间搬送基板的第2搬送机构及第3搬送机构。 |
地址 |
日本大阪府摄津市香露园32番12号 |