| 发明名称 | MEMS麦克风及移动终端 | ||
| 摘要 | 公开了一种MEMS麦克风，包括振膜、背极板以及所述振膜的锚区与背极板的之间的第一支撑层，其中，所述背极板设置有第一凹槽，背极焊盘设置于所述第一凹槽。 | ||
| 申请公布号 | CN204948351U | 申请公布日期 | 2016.01.06 |
| 申请号 | CN201520620657.8 | 申请日期 | 2015.08.17 |
| 申请人 | 北京卓锐微技术有限公司 | 发明人 | 万蔡辛;朱佳辉 |
| 分类号 | H04R19/04(2006.01)I | 主分类号 | H04R19/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人 | 蔡纯;张靖琳 |
| 主权项 | 一种MEMS麦克风，包括振膜、背极板以及所述振膜的锚区与背极板的之间的第一支撑层，其特征在于，所述背极板设置有第一凹槽，背极焊盘设置于所述第一凹槽。 | ||
| 地址 | 100191 北京市海淀区知春路23号量子银座1002室 | ||