真空泵

摘要

本发明提供一种具有控制单元的真空泵，能够可靠地防止在冷却管的表面或其周边结露，能够有效地减少电子设备因为由结露产生的水滴而发生故障等问题。控制单元（真空泵控制单元1）具有第1获取机构（101）、第2获取机构（102）和控制机构（103），前述第1获取机构（101）获取箱体内部（2A）的含有水蒸气量（X），前述第2获取机构（102）获取冷却管（4）的表面温度下的饱和水蒸气量（Y），前述控制机构（103）根据前述饱和水蒸气量（Y）设定容许水蒸气量（YS），基于前述含有水蒸气量（X）和前述容许水蒸气量（YS）的比较结果操作冷却管（4）的流量可变阀（4A），调节冷却管（4）的表面温度，由此进行控制，使得在前述冷却管（4）附近下述条件式得到满足。条件式：含有水蒸气量（X）<容许水蒸气量（YS）。

主权项

一种真空泵，其特征在于，该真空泵具有控制单元、冷却机构、第1获取机构、第2获取机构和控制机构，前述控制单元将安装有电子元件的电子电路配置于箱体内部，驱动控制前述真空泵，前述冷却机构冷却前述控制单元，前述第1获取机构获取前述箱体内部的含有水蒸气量，前述第2获取机构获取前述箱体内部的饱和水蒸气量，前述控制机构基于前述含有水蒸气量和前述饱和水蒸气量的比较结果，操作前述冷却机构，调整前述箱体内部的温度，由此进行控制，使得以下条件式得到满足，条件式：含有水蒸气量<饱和水蒸气量。