| 摘要 |
<p>본 발명은 물체를 특히 그 표면의 형태학적 관점에서 검사하기 위한 방법 및 장치(01, 17)에 관한 것이다. 상기 장치(01, 17)는 특히 검사되는 물체의 표면 부분위에 손에 의해 배치될 수 있는 이송가능한 하우징(02) 및 그 광빔축이 검사되는 표면 부분에 대해 기울어진 경사각으로 연장되는 적어도 세 개의 광원(06)을 포함한다. 상기 광원들(07)은 하우징의 내측에 배치되며, 또한 상기 하우징(02)내의 조명 개구(08)를 통해서 검사되는 상기 표면 부분을 조명할 수 있다. 상기 장치(01, 17)는 검사되는 표면에서 반사된 광을 감지하는 적어도 하나의 광센서(09) 및 상기 광원들(06)과 상기 광센서(09)에 연결되는 제어 및 평가유닛을 포함한다. 상기 광원들(06)은 그 광빔축(07)이 다른 평행하지 않은 참조 평면상에서 연장되어있다.</p> |
