| 摘要 |
<p>소경의 처리액의 액적을 균일하게 분무할 수 있는 2 유체 노즐 및 이 2 유체 노즐을 이용한 기판 액처리 장치 및 기판 액처리 방법을 제공하는 것이다. 본 발명에서는, 액체 토출부(48)로부터 토출된 처리액과 기체 토출구(52)로부터 토출된 기체를 혼합하여 생성한 처리액의 액적을 피처리체를 향해 분무하는 2 유체 노즐(34) 및 이 2 유체 노즐(34)을 이용한 기판 액처리 장치(1) 및 기판 액처리 방법에서, 액체 토출부(48)는, 기체 토출구(52)의 내측에 원의 외측 방향을 향해 처리액을 토출하는 복수의 액체 토출구(47)를 동일 원 상에 배치하는 것으로 했다.</p> |
