| 摘要 |
미세량의 땜납 범프의 형성이 가능하고, 또한, 여분의 용융 땜납에 의한 브리지 발생의 우려가 없는, 땜납 범프 형성 방법을 제공한다. 기판(8) 상에 배치된 개구가 있는 마스크에 노즐부(16)를 접한, 용융 땜납 공급용 인젝션 헤드(11)가, 공급 작업 종료 후, 냉각용 유닛(13)으로부터, 작동을 정지한 히터 유닛(12)을 개재한 전열에 의해 강제 냉각된다. 냉각된, 인젝션 헤드(11) 내의 용융 땜납(15)은, 인젝션 헤드(11) 상승시에 노즐부(16)로부터 늘어져 떨어지지 않는다. |
