| 发明名称 |
用于高温处理的耐电浆腐蚀加热器 |
| 摘要 |
描述的实施方式保护基板支撑件免受在高温下使用的腐蚀性清洁气体的腐蚀。在一个实施方式中，基板支撑件具有心轴和加热器。所述加热器具有主体。所述主体具有顶表面、侧面和底表面。所述顶表面是配置用于在基板的电浆处理期间支援基板。提供遮罩以用于所述顶表面、侧面和底表面中的至少两者。所述遮罩是被选择用于抵抗在超过约400摄氏度的温度下对所述主体的腐蚀。
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| 申请公布号 |
TW201601246 |
申请公布日期 |
2016.01.01 |
| 申请号 |
TW104120778 |
申请日期 |
2015.06.26 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
克哈嘉艾比杜;段仁官;班莎阿米古莫;周建华;罗莎亚凡利斯君卡洛斯 |
| 分类号 |
H01L21/683(2006.01);H01L21/67(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财;李世章 |
| 主权项 |
一种基板支撑件，包括：一心轴；一加热器，该加热器包括：一主体，该主体具有一顶表面、一侧面和一底表面，该顶表面配置用于在电浆处理期间在该顶表面上支撑一基板；及一遮罩，该遮罩提供用于该顶表面、该侧面和该底表面中的至少两者，其中该遮罩被选择用于抵抗在超过约400摄氏度的温度下对该主体的腐蚀。
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| 地址 |
美国 |
