发明名称 用于材料之结晶的混成坩锅
摘要 明系关于一种混成坩锅,其包括一框架及一底板。该坩锅之特征在于,选择该二组件之材料,其已在热导系数方面最佳化。该坩锅系调整成适应于生产结晶体材料。此外,揭露一种用于生产结晶体材料之方法。
申请公布号 TW201600653 申请公布日期 2016.01.01
申请号 TW104107144 申请日期 2015.03.06
申请人 ALD真空工业股份有限公司 发明人 法兰兹 亨利克;墨契 克里斯多夫;齐默尔曼 安德烈;温格特 阿曼;穆勒 凯;赫曼 麦克
分类号 C30B11/00(2006.01);C30B35/00(2006.01) 主分类号 C30B11/00(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文
主权项 一种用于材料之结晶的混成坩锅,包括一底板及一框架,其特征在于,该底板与该框架系由不同材料制作,该底板之热导系数系大于该框架者,及该框架系安装于该底板上。
地址 德国