发明名称 |
用于材料之结晶的混成坩锅 |
摘要 |
明系关于一种混成坩锅,其包括一框架及一底板。该坩锅之特征在于,选择该二组件之材料,其已在热导系数方面最佳化。该坩锅系调整成适应于生产结晶体材料。此外,揭露一种用于生产结晶体材料之方法。
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申请公布号 |
TW201600653 |
申请公布日期 |
2016.01.01 |
申请号 |
TW104107144 |
申请日期 |
2015.03.06 |
申请人 |
ALD真空工业股份有限公司 |
发明人 |
法兰兹 亨利克;墨契 克里斯多夫;齐默尔曼 安德烈;温格特 阿曼;穆勒 凯;赫曼 麦克 |
分类号 |
C30B11/00(2006.01);C30B35/00(2006.01) |
主分类号 |
C30B11/00(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 |
主权项 |
一种用于材料之结晶的混成坩锅,包括一底板及一框架,其特征在于,该底板与该框架系由不同材料制作,该底板之热导系数系大于该框架者,及该框架系安装于该底板上。
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地址 |
德国 |