具有变压器耦合型电浆线圈区域间的电浆密度去耦合结构之法拉第屏蔽

摘要

明提供法拉第屏蔽、以及结合法拉第屏蔽之电浆处理腔室。电浆腔室包括：一静电夹盘，用以接收基板；一介电窗，连接至腔室的顶部，介电窗系设置在静电夹盘上方；以及一法拉第屏蔽。法拉第屏蔽系设置在腔室内部，且定义在静电夹盘与介电窗之间。法拉第屏蔽包括：一内部区域，具有包括第一及第二复数槽孔之内径范围；以及一外部区域，具有包括第三复数槽孔之外径范围。内部区域邻接外部区域。法拉第屏蔽亦包括一带环，带环将内部区域与外部区域隔开，以使第一及第二复数槽孔不与第三复数槽孔连接。

主权项

一种电浆处理腔室，包含：一静电夹盘，用以接收基板；一介电窗，连接至该腔室的顶部，该介电窗系设置在该静电夹盘上方；一法拉第屏蔽，设置在该腔室内部，且定义在该静电夹盘与该介电窗之间，该法拉第屏蔽系由具有一中央孔洞的圆板结构所定义，该圆板结构包括：(a)一内部区域，具有包括第一及第二复数槽孔之内径范围；(b)一外部区域，具有包括第三复数槽孔之外径范围，该内部区域邻接该外部区域；以及(c)一带环，分隔该内部区域与该外部区域，以使该第一及第二复数槽孔不与该第三复数槽孔连接；其中该第一、第二、及第三复数槽孔系排列成自该法拉第屏蔽的中央往外径向延伸。