原料流体浓度检测器

摘要

明之目的，系提供一种浓度计，其系使用于有机原料流体的供给系统等处，可谋求浓度计构造的简单化、小型化、降低制品成本，又可将透光视窗的透明度保持于一定而可进行稳定的浓度测定，并且提升气密性和耐粒子性。

主权项

一种原料流体浓度检测器，系具备：检测器本体、设在检测器本体的上表面或下表面的光震荡部以及光检测部之光分析式原料流体浓度检测器，系在检测器本体具备：于上表面以及下表面分别至少形成一个凹部，从检测器本体的流体入口来与凹部相连通的流体流路、连通于凹部之间的流体通路、以及从凹部来与检测器本体的流体出口相连通的流体流路，并且至少在一个凹部配置光震荡部，在其余的凹部配置光检测部。