图案评估装置及具备图案评估装置之外观检查装置

摘要

明之目的系提供一种图案评估技术，仅求出起因于电路图案的布局设计之变化而进行电路图案之评估。
本发明之图案评估装置具备：从检查影像推定起因于制造手法之模型之模型推定部；使用所推定之模型而推定前述检查影像之变化量的变化量推定部；使用所推定之变化量而将前述基准资料变化之基准资料变化部；以及比较藉基准资料变化部而变化之基准资料与检查影像而实行评估处理之评估部。

主权项

一种图案评估装置，系使用基准资料而评估检查影像的成果之图案评估装置，特征在于：具备：从前述检查影像推定起因于制造手法之形变模型之模型推定部；使用前述所推定之形变模型而推定前述检查影像之变化量的变化量推定部；使用前述所推定之前述变化量而将前述基准资料变化之基准资料变化部；以及比较藉前述基准资料变化部而变化之前述基准资料与前述检查影像而实行评估处理之评估部；前述模型推定部使用表示前述检查影像内的电路图案的线部之宽度与空间部的宽度之关系的条件式而推定前述形变模型。