| 发明名称 |
用于在后侧制程期间保护前侧电路之防刮涂层 |
| 摘要 |
明提供用于在后侧制程期间保护前侧微机电及半导体元件特征之防刮涂层，以及其使用方法。该涂层非感光性、可移除且耐高制程温度。此等涂层亦消除元件设计中对独立蚀刻终止层之需要。该涂层由包含溶解或分散于溶剂系统中之组分的组成物形成。该组分选自由苯乙烯-丙烯腈共聚物及芳族碸聚合物组成之群。 |
| 申请公布号 |
TWI515269 |
申请公布日期 |
2016.01.01 |
| 申请号 |
TW099131396 |
申请日期 |
2010.09.16 |
| 申请人 |
布鲁尔科技公司 |
发明人 |
耶斯 奇贝尔里Ａ;小戴利 麦迪逊Ｍ;福雷 托尼Ｄ |
| 分类号 |
C09D125/12(2006.01);C09D181/06(2006.01);H01L21/30(2006.01) |
主分类号 |
C09D125/12(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
阎启泰;林景郁 |
| 主权项 |
一种保护元件表面之方法，该方法包含：提供具有元件表面及后侧表面之基板；视情况在该元件表面上形成一或多个中间层；若存在中间层则在该等中间层上形成非感光性之保护层，或若无中间层存在则在该元件表面上形成非感光性之保护层，该保护层由包含分散或溶解于溶剂系统中之组分的组成物形成，该组分选自由苯乙烯-丙烯腈共聚物及芳族碸聚合物组成之群；提供具有表面之夹盘；使用与该夹盘表面相邻之该保护层将该基板紧固于该夹盘；及使该后侧表面经受后侧制程。
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| 地址 |
美国 |
