| 主权项 |
一种玻璃基板之制造方法，其包含：成形步骤，其系使用设置于成形炉室中之成形体，藉由下拉法而由熔融玻璃成形平板玻璃；及冷却步骤，其系当上述平板玻璃于与上述成形炉室邻接之退火炉室内流动时，一面控制上述平板玻璃之流动方向之冷却速度及上述平板玻璃之宽度方向之温度分布，一面将包含上述平板玻璃之两侧之端部与较上述端部更接近平板玻璃之宽度方向之中心之中央部之上述平板玻璃进行退火；上述冷却步骤包含：第1冷却速度控制步骤，其以第1平均冷却速度冷却上述中央部，直至上述平板玻璃之上述中央部之温度成为退火点为止；第2冷却速度控制步骤，其以第2平均冷却速度冷却上述中央部，直至上述中央部之温度自上述退火点成为应变点-50℃为止；及第3冷却速度控制步骤，其以第3平均冷却速度冷却上述中央部，直至上述中央部之温度自上述应变点-50℃成为上述应变点-200℃为止；上述退火炉室系划分为至少2个以上之空间，且上述成形炉室与上述退火炉室之间之间隔壁、及将设置于上述退火炉室中之上述空间分隔之间隔壁之各者使用隔热板，于上述隔热板中，与将上述上部空间进一步划分之隔热板相比，用于划分上述上部空间及下部空间之间隔壁之隔热板之热阻较大，上述上部空间系进行上述第1冷却速度控制步骤、上述第2冷却速度控制步骤、及上述第3冷却速度控制步骤，上述下
部空间系于较上述上部空间更靠上述平板玻璃之流动方向之下游侧中进行上述平板玻璃之冷却。
|
