| 发明名称 |
蚀刻液组合物及使用其制造液晶显示器用阵列基板的方法 |
| 摘要 |
公开的是一种蚀刻液组合物，包含：金属层氧化剂、氟化合物、磷酸、二醇和余量的水，其中该蚀刻液组合物在待处理的片材数为5000张时的蚀刻速率与待处理的片材数为100张时的蚀刻速率之比为0.9至1；以及一种使用该组合物制造液晶显示器用阵列基板的方法。
|
| 申请公布号 |
TW201600640 |
申请公布日期 |
2016.01.01 |
| 申请号 |
TW104118543 |
申请日期 |
2015.06.08 |
| 申请人 |
东友精细化工有限公司 |
发明人 |
崔汉永;金炫佑;田玹守;赵成培;金相泰;李俊雨 |
| 分类号 |
C23F1/16(2006.01);G02F1/1333(2006.01);G02F1/1343(2006.01) |
主分类号 |
C23F1/16(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
赖正健;陈家辉 |
| 主权项 |
一种蚀刻液组合物，包含：金属层氧化剂、氟化合物、磷酸、二醇和余量的水；其中，前述蚀刻液组合物在待处理的片材数为5000张时的蚀刻速率与待处理的片材数为100张时的蚀刻速率之比为0.9至1。
|
| 地址 |
南韩 |
