| 发明名称 |
有序化嵌段共聚物 |
| 摘要 |
明关于一种将嵌段共聚物有序化之方法，其包括形成具有第一优先模式的第一层；及在该第一层之经选择区域中提供反应剂，以将该等经选择区域修改为第二优先模式，其中该等经选择区域界定出保留该第一优先模式的其他第一层区域，从而形成嵌段共聚物之校准层。
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| 申请公布号 |
TW201600929 |
申请公布日期 |
2016.01.01 |
| 申请号 |
TW104108158 |
申请日期 |
2015.03.13 |
| 申请人 |
德州大学董事会 |
发明人 |
威尔森 卡登;伊利森 克里斯多福;马赫 麦可;贝兹 克里斯多福;詹斯 达斯汀 |
| 分类号 |
G03F7/004(2006.01);C08L53/00(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01L21/312(2006.01);H01L21/3105(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
一种将嵌段共聚物校准且定向之方法，其包含：a)提供包含嵌段A与嵌段B之重复单元的嵌段共聚物、基材及用于形成层的材料；b)在该基材上形成第一层，其优先润湿(wet)该嵌段共聚物的嵌段A，或为中性且不优先润湿该嵌段共聚物的任一嵌段，该第一层包含反应剂载体；c)在该第一层上形成与其毗连之嵌段共聚物层；d)在步骤c)之前或之后，以图案方式选择性地照射该第一层之该反应剂载体，从而使该等经照射之反应剂载体提供该反应剂至该第一层之经选择区域中，以修改该等经选择区域的优先润湿；e)在该嵌段共聚物层上施加顶涂层，以建立组合件；及f)处理该组合件，以将该嵌段共聚物定向且校准。
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| 地址 |
美国 |
