| 发明名称 | 透射电镜微栅的制备方法 | ||
| 摘要 | 明涉及一种透射电镜微栅的制备方法，包括：提供一奈米碳管层，所述奈米碳管层包括复数微孔及相对的第一表面及第二表面；在所述奈米碳管层的第一表面电镀一第一金属层；在所述奈米碳管层的第二表面电镀一第二金属层；及蚀刻所述第一金属层及第二金属层，形成复数第一通孔及第二通孔相对设置于所述奈米碳管层的第一表面及第二表面。 | ||
| 申请公布号 | TW201601184 | 申请公布日期 | 2016.01.01 |
| 申请号 | TW103123451 | 申请日期 | 2014.07.08 |
| 申请人 | 鸿海精密工业股份有限公司 | 发明人 | 魏洋;范守善 |
| 分类号 | H01J37/02(2006.01);H01J37/20(2006.01);H01J37/26(2006.01) | 主分类号 | H01J37/02(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种透射电镜微栅的制备方法，包括：提供一奈米碳管层，所述奈米碳管层具有相对的第一表面及第二表面，该奈米碳管层包括复数奈米碳管，至少部份奈米碳管间隔设置形成复数微孔；在所述奈米碳管层的第一表面和第二表面分别电镀形成一第一金属层和一第二金属层；以及蚀刻所述第一金属层及第二金属层，在第一金属层及第二金属层分别形成复数第一通孔和复数第二通孔，所述奈米碳管层的第一表面通过所述复数第一通孔部份暴露，所述奈米碳管层的第二表面通过所述复数第二通孔部份暴露。 | ||
| 地址 | 新北市土城区自由街2号 | ||