光罩用黏着片

摘要

明为于基材上具有黏着层的光罩用黏着片，将黏着层的潜变率设为2.5%以下、弹性变化率为73%以上。再者，将黏着层的马氏硬度设为80N/mm2以下。该黏着片，于被接着物具有凹凸之情形时，即使反覆与凸部进行压着，可抑制由凸部所产生的变形，防止因变形所起因之光透过率的降低，也就是可以防止白化。因此，极适合当作为：对于使用具有通孔等之凹凸的基板来制造印刷配线板等之时所使用的光罩用的表面保护薄膜来使用。

主权项

一种光罩用黏着片，系于厚度12μm以下的基材上具有厚度6μm以下的黏着层，上述黏着层是包含丙烯酸系黏着剂及环氧系硬化剂，上述丙烯酸系黏着剂，其重量平均分子量为30万至80万的高分子量丙烯酸系黏着剂，环氧系硬化剂，为0.01重量%至0.30重量%，上述黏着层，其潜变率为2.5%以下且马氏硬度为80N/mm2以下。