发明名称 电子元件制备用金属基板及面板
摘要 子元件制备用金属基板具备:Al+Si的合计含量为0.5~18.0质量%之钢材;厚度0.2μm~2.0μm之第一绝缘性皮膜;及厚度0.3μm~5.0μm之第二绝缘性皮膜;又,前述第一绝缘性皮膜与前述第二绝缘性皮膜之合计厚度为2.0μm~7.0μm;前述第一绝缘性皮膜系含有Al2O3及SiO2之至少一者的热氧化皮膜;且前述第二绝缘性皮膜系由氧化矽系无机有机混成材料形成。
申请公布号 TW201600639 申请公布日期 2016.01.01
申请号 TW103122524 申请日期 2014.06.30
申请人 新日铁住金高新材料股份有限公司;新日铁住金股份有限公司 发明人 山田纪子;山口左和子
分类号 C23C28/04(2006.01);H01L31/042(2014.01);C22C38/34(2006.01);C22C38/18(2006.01);C22C38/06(2006.01) 主分类号 C23C28/04(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项 一种电子元件制备用金属基板,其特征在于具备:钢材,其Al含量为0~13.0质量%,Si含量为0~5.0质量%,且前述Al及前述Si之合计含量为0.5~18.0质量%;第一绝缘性皮膜,系被覆前述钢材之表面且厚度为0.2μm~2.0μm;及第二绝缘性皮膜,系被覆前述第一绝缘性皮膜之表面且厚度为0.3μm~5.0μm;又,前述第一绝缘性皮膜与前述第二绝缘性皮膜之合计厚度为2.0μm~7.0μm;前述第一绝缘性皮膜系含有Al2O3及SiO2之至少一者的热氧化皮膜;且前述第二绝缘性皮膜系由氧化矽系无机有机混成材料形成。
地址 日本;日本