发明名称 |
电子元件制备用金属基板及面板 |
摘要 |
子元件制备用金属基板具备:Al+Si的合计含量为0.5~18.0质量%之钢材;厚度0.2μm~2.0μm之第一绝缘性皮膜;及厚度0.3μm~5.0μm之第二绝缘性皮膜;又,前述第一绝缘性皮膜与前述第二绝缘性皮膜之合计厚度为2.0μm~7.0μm;前述第一绝缘性皮膜系含有Al2O3及SiO2之至少一者的热氧化皮膜;且前述第二绝缘性皮膜系由氧化矽系无机有机混成材料形成。
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申请公布号 |
TW201600639 |
申请公布日期 |
2016.01.01 |
申请号 |
TW103122524 |
申请日期 |
2014.06.30 |
申请人 |
新日铁住金高新材料股份有限公司;新日铁住金股份有限公司 |
发明人 |
山田纪子;山口左和子 |
分类号 |
C23C28/04(2006.01);H01L31/042(2014.01);C22C38/34(2006.01);C22C38/18(2006.01);C22C38/06(2006.01) |
主分类号 |
C23C28/04(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
恽轶群;陈文郎 |
主权项 |
一种电子元件制备用金属基板,其特征在于具备:钢材,其Al含量为0~13.0质量%,Si含量为0~5.0质量%,且前述Al及前述Si之合计含量为0.5~18.0质量%;第一绝缘性皮膜,系被覆前述钢材之表面且厚度为0.2μm~2.0μm;及第二绝缘性皮膜,系被覆前述第一绝缘性皮膜之表面且厚度为0.3μm~5.0μm;又,前述第一绝缘性皮膜与前述第二绝缘性皮膜之合计厚度为2.0μm~7.0μm;前述第一绝缘性皮膜系含有Al2O3及SiO2之至少一者的热氧化皮膜;且前述第二绝缘性皮膜系由氧化矽系无机有机混成材料形成。
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地址 |
日本;日本 |