切削装置的工作夹台

摘要

明之课题在于提供一种切削装置的工作夹台，其可相对于保持晶圆的保持面来微调支撑环状框架之框架支撑部的高度。解决手段为使框架支撑机构具有基台部与框架支撑部，该基台部是固定于工作台基座，该框架支撑部是透过调整机构而固定于基台部，其中该调整机构是用以调整于与工作台本体之保持面为直交的高度方向上之位置，且可将框架支撑部所支撑之环状框架的高度相对于工作台本体的保持面定位在所期望的位置上。

主权项

一种切削装置的工作夹台，是用以吸引保持透过黏着胶带而被支撑于环状框架之开口上的被加工物，该切削装置的工作夹台的特征在于，前述工作夹台包括：工作台本体，可装卸自如地固定于前述切削装置的工作台基座上，并具有用以保持被加工物之保持面；以及框架支撑机构，固定于前述工作台基座上且在前述工作台本体的外周支撑前述环状框架，又，前述框架支撑机构具有固定于前述工作台基座的基台部，及透过调整机构而被固定在前述基台部上的框架支撑部，其中该调整机构是在与前述保持面为直交之高度方向上调整位置，且是将被前述框架支撑部所支撑之前述环状框架的高度相对于前述工作台本体的前述保持面定位在所期望的位置上。