| 发明名称 | 成膜方法 | ||
| 摘要 | 于基板上成膜出TiN连续膜的成膜方法，系具有：于该基板上成膜出TiO2连续膜的工序；以及于该TiO2连续膜上成膜出较该TiO2膜要厚之TiN连续膜的工序。 | ||
| 申请公布号 | TW201600626 | 申请公布日期 | 2016.01.01 |
| 申请号 | TW104114659 | 申请日期 | 2015.05.08 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 熊谷武司;尾谷宗之 |
| 分类号 | C23C16/34(2006.01);C23C16/40(2006.01) | 主分类号 | C23C16/34(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 林秋琴;陈彦希;何爱文 | |
| 主权项 | 一种成膜方法，系于基板上成膜出TiN连续膜的成膜方法，其系具有：于该基板上成膜出TiO2连续膜的工序；以及于该TiO2连续膜上成膜出较该TiO2膜要厚之TiN连续膜的工序。 | ||
| 地址 | 日本 | ||