| 发明名称 |
由镍－磷合金或镍－铂－磷合金构成之溅镀靶及其制造方法 |
| 摘要 |
镍-磷合金溅镀靶之制造方法，其特征在于：将磷含量为15~21wt%，剩余部分由镍及不可避免之杂质构成的镍-磷合金熔解，进行雾化加工，制作平均粒径100μm以下之镍-磷合金雾化加工粉后，将纯镍雾化粉混合于此镍-磷合金雾化加工粉，对其进行热压。本发明之课题在于提供一种离目标组成之偏移小的镍-磷合金溅镀靶的制造方法。
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| 申请公布号 |
TW201600612 |
申请公布日期 |
2016.01.01 |
| 申请号 |
TW104108759 |
申请日期 |
2015.03.19 |
| 申请人 |
ＪＸ日鑛日石金属股份有限公司 |
发明人 |
大桥一允;小田国博 |
| 分类号 |
C22C19/03(2006.01);B22F3/14(2006.01);C23C14/14(2006.01);C23C14/34(2006.01) |
主分类号 |
C22C19/03(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
阎启泰;林景郁 |
| 主权项 |
一种镍-磷合金溅镀靶，其含有1~10at%之磷，剩余部分由镍及不可避免之杂质构成，密度在90%以上。
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| 地址 |
日本 |
