盐、酸产生剂、光阻组成物，以及产生光阻图案之方法

摘要

式(I)表示之盐：

主权项

一种式(I)表示之盐：

其中X表示氧原子、硫原子或-N(SO2R5)-；R5表示可具有氟原子及其中亚甲基可由氧原子或羰基置换之C1-C12烷基、可具有氟原子之C3-C12环烷基、或可具有氟原子之C6-C12芳香族烃基；Ar表示可具有取代基之C6-C36芳香族烃基或可具有取代基之C4-C36杂芳香族烃基；R1及R2各自独立地表示氢原子、羟基、或亚甲基可由氧原子或羰基置换之C1-C12烃基；m及n各自独立地表示1或2；R3及R4各自独立地表示氢原子或C1-C12烃基，R3及R4可键结而形成环，或R3或R4可连同Ar一起形成环；及A-表示具有酸不稳定基之有机阴离子、具有硷不稳定基之有机阴离子、或具有酸不稳定基及硷不稳定基之有机阴离子。