带电探针及其电场量测方法

摘要

明提供一种带电探针及其电场量测方法，探针可充电于单一颗黏合于探针针尖的驻极体奈米球以形成带电荷之探针，并可适用于扫描探针显微术。探针包含绝缘针头基座、悬臂梁及单一颗驻极体奈米球。悬臂梁用以支撑绝缘针头基座，单一颗奈米设置于绝缘针头基座之磨损平面上。在使用电极接触法后，单一颗奈米球可储存有单一电性之固定量电荷，利用虚像法电荷计算公式计算单一电性之固定量电荷。在于探针尖端的驻极体奈米球储电后，此探针即可于原子力显微镜系统上以轻敲法扫描影像或力距离曲线撷取任何物件表面之电场分布图。

主权项

一种带电探针，适用于扫描探针显微术，其包含：一绝缘针头基座，该绝缘针头基座之底部具有一磨损平面；一悬臂梁，连结于该绝缘针头基座并用以支撑该绝缘针头基座；以及单一颗奈米球或单一颗微米球，设置于该磨损平面上；其中当该单一颗奈米球或该单一颗微米球应用于扫描探针显微术时，该单一颗奈米球或该单一颗微米球储存有单一电性之固定量电荷，而后将该带电探针装载于原子力显微镜探针上并以轻敲模式扫描物件影像或以力-距离曲线撷取待测物之电场分布图。