坩埚及其预热方法

摘要

坩埚及其预热方法。在坩埚预热方法中，提供坩埚，包含本体、网格状金属单元以及S型回圈金属单元，其中本体具有底部及环绕底部的侧壁，且底部与侧壁形成容置空间。利用感应加热装置来对网格状金属单元及S型回圈金属单元提供交变磁场，而使网格状金属单元及S型回圈金属单元受交变磁场作用升温来加热本体。根据预设升温曲线来依序提高感应加热装置之功率，以依序提高坩埚之温度。

主权项

一种坩埚预热方法，包含：提供一坩埚，包含一本体、一网格状金属单元以及一S型回圈金属单元，其中该本体具有一底部及环绕该底部的一侧壁，且该底部与该侧壁形成一容置空间；利用一感应加热装置来对该网格状金属单元及该S型回圈金属单元提供一交变磁场，而使该网格状金属单元及该S型回圈金属单元受该交变磁场作用升温来加热该本体，并熔断该网格状金属单元的复数个金属线；根据一预设升温曲线来依序提高该感应加热装置之功率，以依序提高该坩埚之温度。