电子束检测最佳化方法

摘要

电子束检测最佳化方法，是先取得一晶片中的数个初始检测区域，每个所述初始检测区域之中心为一缺陷点。然后，重新产生互不重叠的数个重设检测区域，其中每个所述重设检测区域是被一视场(FOV)所涵盖的范围，且所述范围内具有至少一个所述缺陷点。之后，将重设检测区域之中心转换成检测中心点，并对所述检测中心点进行电子束检测。

主权项

一种电子束检测最佳化方法，包括：取得一晶片中的多数个初始检测区域，每个所述初始检测区域之中心为一缺陷点；重新产生互不重叠的多数个重设检测区域，其中每个所述重设检测区域是被一视场(field of view，FOV)所涵盖的范围，且所述范围内具有至少一个所述缺陷点，其中所述视场(FOV)所涵盖的范围为5μm~20μm；将所述重设检测区域之中心转换成多数个检测中心点；以及对所述检测中心点进行电子束检测。