槽加工头之集尘机构及槽加工装置

摘要

明系一种槽加工头之集尘机构及槽加工装置。本发明之课题在于可在利用槽加工头进行槽加工时不使所产生之粉尘吸附于基板下进行抽吸。

主权项

一种槽加工头之集尘机构，其具备：槽加工头；集尘罩，其设置于上述槽加工头之下部；以及集尘机，其自上述集尘罩经由管道抽吸空气；且上述槽加工头具有保持使刀尖位于下方之工具之工具保持器，上述集尘罩系上表面开放之壳体，且具有：开口，其使上述槽加工头之工具突出；以及框状之隔断部，其以与上述工具保持器之间隔开固定间隔之方式自上述开口部朝向上方设置；且以上述工具之前端自上述开口向下方突出之方式安装。