| 发明名称 |
固定磨粒钢线及线锯并用之工件的切断方法 |
| 摘要 |
明为一种固定磨粒钢线，系于芯线的表面固着有磨粒，其中于该芯线的表面中，其每单位面积的该磨粒的个数的磨粒数密度为1200个/mm2
以上，且全部的各磨粒间的重心间距离的分布当中，全磨粒的平均圆相当直径以下者所占据的比例为2%以下。如此一来，藉由提供一种固定磨粒钢线及线锯并用之工件的切断方法，能抑制工件切断中的固定磨粒钢线的蛇行，并能改善自工件所切出的晶圆的TTV、Warp。 |
| 申请公布号 |
TW201600228 |
申请公布日期 |
2016.01.01 |
| 申请号 |
TW104109092 |
申请日期 |
2015.03.20 |
| 申请人 |
信越半导体股份有限公司 |
发明人 |
加藤忠弘 |
| 分类号 |
B24B27/06(2006.01);H01L21/304(2006.01) |
主分类号 |
B24B27/06(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志青 |
| 主权项 |
一种固定磨粒钢线，系于芯线的表面固着有磨粒，其中 于该芯线的表面中，其每单位面积的该磨粒的个数的磨粒数密度为1200个/mm2
以上，且全部的各磨粒间的重心间距离的分布当中，全磨粒的平均圆相当直径以下者所占据的比例为2%以下。 |
| 地址 |
日本 |
