| 发明名称 |
表面处理装置 |
| 摘要 |
处理装置100，是具备：稀释气体供给装置(1)、及氟气体供给装置(2)、及将稀释气体及氟气体混合的混合器(5)、及使用由混合器(5)生成的混合气体将被处理物处理的反应器(6)。将从稀释气体供给装置供给的稀释气体由加热器(8)加热，将被加热的稀释气体及从氟气体供给装置供给的氟气体在混合器(5)混合。被混合的气体，是朝反应器(6)被送出。反应器(6)内的气体，是藉由排气装置(207)从反应器(6)朝流路(219)、(220)、(221)、(222)被导引。阀(223)、(224)、(225)、(226)是依顺被打开，将反应器(6)内的气体的流量，一边藉由使用流路(219)、(220)、(221)、(222)调整，一边将反应器(6)内的气体朝除害装置(208)被送出。
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| 申请公布号 |
TWI515242 |
申请公布日期 |
2016.01.01 |
| 申请号 |
TW098107504 |
申请日期 |
2009.03.06 |
| 申请人 |
东洋炭素股份有限公司 |
发明人 |
平岩次郎;竹林仁;吉本修;田中则之;藤田一郎;佐佐木启能;森一高 |
| 分类号 |
C08J7/12(2006.01) |
主分类号 |
C08J7/12(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
一种表面处理装置，是具备：供给稀释气体的稀释气体供给装置、及供给氟气体的氟气体供给装置、及将前述稀释气体及前述氟气体混合生成混合气体的混合器、及使被处理物接触前述混合气体的反应器，其特征为：进一步具备被配置于前述稀释气体供给装置及前述混合器之间且在将前述稀释气体及前述氟气体混合之前将前述稀释气体加热的加热手段，将从前述稀释气体供给装置供给的前述稀释气体在到达前述混合器之前由前述加热器加热之后，与从前述氟气体供给装置供给的未被加热的前述氟气体在前述混合器混合，使被混合的气体朝前述反应器被送出，因为使前述氟气体不会被前述加热手段加热，而不会成为高温，所以可防止构件的损伤，进一步具备：将前述稀释气体作为驱动源，将前述氟气体吸入的喷射器。
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| 地址 |
日本 |
