非晶形薄金属膜

摘要

示内容系有关于非晶形薄金属膜及相关方法。一般而言，一非晶形薄金属膜可包含四种金属或类金属的组合，其包括：5至85at%之选自以下群组之类金属：碳、矽、及硼；5至85at%之一第一金属；5至85at%之一第二金属；及5至85at%之一第三金属，其中各金属系独立选自以下之群组：钛、钒、铬、钴、镍、锆、铌、钼、铑、钯、铪、钽、钨、铱、及铂，其中该第一金属、该第二金属、及该第三金属为不同金属。典型上，这四种元素占该非金属薄金属膜的至少70at%。

主权项

一非晶形薄金属膜，其包含：5至85原子百分比之一类金属，其中该类金属为碳、矽或硼；5至85原子百分比之一第一金属，其中该第一金属为钛、钒、铬、钴、镍、锆、铌、钼、铑、钯、铪、钽、钨、铱或铂；5至85原子百分比之一第二金属，其中该第二金属为钛、钒、铬、钴、镍、锆、铌、钼、铑、钯、铪、钽、钨、铱或铂；及5至85原子百分比之一第三金属，其中该第三金属为钛、钒、铬、钴、镍、锆、铌、钼、铑、钯、铪、钽、钨、铱或铂；其中该第一金属、该第二金属、及该第三金属为不同金属，且其中该类金属、该第一金属、该第二金属、及该第三金属占该非晶形薄金属膜之至少70原子百分比。