| 发明名称 |
利用蒸镀法在基板上制作奈米触媒之方法 |
| 摘要 |
本发明系有关于一种利用蒸镀法在基板上制作奈米触媒之方法，系提供一种利用蒸镀方式在基板之奈米穿孔内填充奈米触媒之方法，其中本发明包含以下步骤：A.预先在一基板上制作复数个奈米穿孔；及B.利用蒸镀法将一靶材蒸镀至前述基板之奈米穿孔内，而在前述奈米穿孔内分别形成一奈米触媒；藉由此方式可以利用该基板作为一种奈米反应器之用途。 |
| 申请公布号 |
TWI515044 |
申请公布日期 |
2016.01.01 |
| 申请号 |
TW100102814 |
申请日期 |
2011.01.26 |
| 申请人 |
远东科技大学 |
发明人 |
丁永强;叶小华;许丕明;陈惠俐;彭信舒 |
| 分类号 |
B01J37/00(2006.01);C23C14/24(2006.01) |
主分类号 |
B01J37/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
苏显读 |
| 主权项 |
一种利用蒸镀法在基板上制作奈米触媒之方法，步骤包括：A.预先在一基板上制作复数个奈米穿孔；及B.利用蒸镀法将一靶材蒸镀至前述基板之奈米穿孔内，而在前述奈米穿孔内分别形成一奈米触媒。 |
| 地址 |
台南市新市区中华路49号 |
